高頻火花檢漏儀的主結構就是一個小功率、高頻、高壓的塔式線圈。通電後在其次級線圈的尖端會形成高頻高壓電脈衝，在大氣中會不斷引發隨機、短促的脈衝放電，釋放出尖細、曲折的電火花。利用這種高頻電火花可以在玻璃真空係統或器件中尋找細微漏洞，也可以用於橡塑陶瓷管道等非導電體的真空係統檢漏。如果要檢測金屬真空係統或容器時，需利用安置在金屬係統上的玻璃規管或盲管進行檢漏。

      高頻火花檢漏儀結構簡單，體積小、重量輕，攜帶與使用都很方便，可用壓力範圍103～10-1Pa，可檢最小漏率為10-3～10-4Pa·m3/s。按其產生高頻、高壓脈衝方式的不同，可分為電容電感串聯諧振式與振動子式。前者火花束強、振蕩穩定，但體積大笨重；後者體積小、方便，但振蕩不夠穩定。

實際使用中，高頻火花檢漏儀的檢漏方式有兩種：火花法和放電法。

      火花法適用於玻璃真空係統或器件的檢漏。使用時用放電尖端搜尋漏孔，如無漏孔火花束在玻璃表麵不規則跳躍，並向四周發散。如有漏孔，因空氣進入真空係統，放電尖端移至漏孔處時，氣流會被電離，導電率上升高於玻璃，分散的火花束就會集中成為細長明亮的火花束，尾端指向漏孔。

      放電法適用於玻璃真空係統，也適用於金屬係統（借助玻璃規管或盲管）。它利用的是低真空中氣體放電顏色的不同來進行檢漏。當真空檢漏儀器的尖端火花打在幾千至1Pa的真空係統的玻璃壁上，會使係統內氣體產生輝光放電，不同的氣體會呈現不同顏色。但是係統處於正常大氣壓或者10-2Pa以下時，呈現的則為無色。

各種氣體在高頻火花檢漏儀放電法中的輝光顏色